Mechanical Mode Coupled Piezo-on-Silicon Bulk Acoustic Wave MEMS Resonators in Tank Configuration for Q-Enhancement

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Empreinte digitale

Examiner les sujets de recherche de « Mechanical Mode Coupled Piezo-on-Silicon Bulk Acoustic Wave MEMS Resonators in Tank Configuration for Q-Enhancement ». Ensemble, ils forment une empreinte digitale unique.

Keyphrases

Engineering

Material Science