Push–Push Electrothermal MEMS Actuators with Si-to-Si Contact for DC Power Switching Applications
- Abdurrashid Hassan Shuaibu
- , Almur A.S. Rabih
- , Yves Blaquière
- , Frederic Nabki
Résultats de recherche: Contribution à un journal › Article publié dans une revue, révisé par les pairs › Revue par des pairs
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Citations
(Scopus)