Bidirectional Electrostatic Rotary MEMS Actuator Achieving ±3.2° Angular Displacement
- Navid Heidari
- , Mohammadreza Kolahdouz Moghaddam
- , Seyedfakhreddin Nabavi
- , Michael Menard
- , Frederic Nabki
Résultats de recherche: Contribution à un journal › Article publié dans une revue, révisé par les pairs › Revue par des pairs