Les capteurs de gaz sont une technologie largement utilisée pour de nombreuses applications, faisant de la crise climatique actuelle un déclencheur pour le développement de ces technologies pour mesurer les gaz à effet de serre, principalement le CO2.
Avec le développement de nouveaux processus de microfabrication, il a été possible de produire des micro-résonateurs pour de multiples applications, telles que les capteurs de gaz, offrant de multiples avantages par rapport aux capteurs commerciaux, grâce au fait qu’ils utilisent moins d’énergie, sont plus petits et plus économiques à produire.
Bien que les différentes parties qui intégreraient les micro-résonateurs devant être utilisés comme capteurs aient fait l’objet de recherches pendant des années, la possibilité de créer un capteur MEMS entièrement intégré comme capteur de gaz n’a pas été suffisamment explorée.
Il est donc nécessaire de déterminer s’il est possible de créer un capteur MEMS entièrement intégré basé sur les micro-résonateurs, qui soit fonctionnel et présente une compétitivité sur le marché actuel des capteurs de gaz.
Ce projet est axé sur la création d’un prototype de capteur MEMS CO2 entièrement fonctionnel dont la variable de mesure est la variation de la fréquence de résonance du micro-résonateur intégré, pour lequel ils ont été caractérisés par de multiples revêtements à base d’amines polymères.
Avec la mise au point réussie d’un capteur MEMS pour le CO2, il est possible de réaliser une solution entièrement intégrée en utilisant des micro-résonateurs et qui peut être compétitive avec les capteurs existants sur le marché, cependant, en raison de l’impact de variables externes telles que la pression, la température et l’humidité sur la performance du capteur, il est nécessaire de réaliser des éléments de compensation qui garantissent la fiabilité et la précision de ces capteurs.
| Date | 15 juin 2020 |
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| langue originale | Anglais américain |
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| Établissement diplômant | - École de technologie supérieure
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| Superviseur | Frédéric Nabki (Directeur(-trice)) |
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- résonateur MEMS
- polyethylenimine; micro-résonateur; capteur de CO2; capteur de gaz; capteur d'humidité; oxyde de graphène réduit; revêtements; capteur de masse
- capteur régénératif
- adsorbant CO2
Prud Homme Buelna, A. (Auteur(e)),
Nabki (Directeur(-trice)),
15 juin 2020Thèses et mémoires: Mémoire de maîtrise › Maîtrise en ingénierie: Génie électrique