Post-Release Metallization in MEMS Silicon-to-Silicon Contact Switches for On-Resistance Improvement
- Abdurrashid Hassan Shuaibu
- , Almur A.S. Rabih
- , Yves Blaquière
- , Frederic Nabki
- École de technologie supérieure
Résultats de recherche: Contribution à un journal › Article publié dans une revue, révisé par les pairs › Revue par des pairs